晶体硅PERC电池作为当前光伏太阳电池的主流工艺产品，核心在于在硅片背面沉积一层优良的氧化铝场钝化薄膜来提升电池的光电转化效率，但是由于氧化铝薄膜制备过程中的一些不稳定因素，导致PERC电池在成品EL测试中，经常出现EL发黑问题，不仅影响PERC电池的光电转化效率，同时也容易造成组件端的可靠性测试失效，影响电池的有效寿命。重点总结了PERC电池制备环节中，用于沉积氧化铝薄膜的MAiA机台导致电池EL大面积发黑的关键因素，并有针对性地提出预防改善措施。
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