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摘要
本发明涉及一种能够提高阈值电压稳定性的MOSFET的制备方法,包括：在N+衬底层的上表面生长N-漂移层；在N-漂移层的上表面进行铝离子注入形成第一P阱和第二P阱；在第一P阱内和第二P阱内分别进行氮离子注入形成第二N+源区；在第一P阱内和第二P阱内分别进行铝离子入形成第二P+接触区；然后在此基础上生长N+纳米薄层,将N+纳米薄层进行氧化形成栅氧化层；在栅氧化层表面淀积多晶硅形成多晶硅栅；在多晶硅栅的上表面淀积第一金属形成源电极；在N+衬底层的背面淀积第二金属形成漏电极。此方法可避免能够提高阈值电压稳定性的MOSFET淀积二氧化硅时的离子注入工艺引起的阈值电压漂移问题。
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