压力传感器芯体及其制作方法

来源：传感器世界, 2023, 29(01): 52.

<正>申请号:202211242917.3【申请日】2022.10.11【公开号】CN115452235A【公开日】2022.12.09【分类号】G01L7/08;G01L19/00;G01L13/02;G01L9/06【申请人】中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司【发明人】谭佳欢;高志强;钟海;张海峰【摘要】本发明公开了一种压力传感器芯体及其制作方法，涉及压力传感器技术领域，以在一定程度上优化压力传感器内部结构，