1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制

作者：龙文华; 李广波; 贾科淼; 屈红昌; 唐衍哲; 吴亚明; 杨建义; 王跃林

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2005, (09): 1798-1803.

• 阵列波导光栅
• 硅基二氧化硅
• 光波导
• 光波分复用器/解复用器
• 集成光学 arrayed waveguide grating
• silica-on-silicon
• optical waveguide
• optical multiplexer/demultiplexer
• integrated optics

采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.

• 单位
  浙江大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 传感技术国家重点实验室