极限电流式氧气传感器水基流延成型制备工艺研究

作者:刘玺; 王亮; 刘志远; 文吉延; 皮倩倩; 邵志强
来源:传感器与微系统, 2020, 39(07): 38-40.
DOI:10.13873/J.1000-9787(2020)07-0038-03

摘要

流延成型工艺是一种重要的平面陶瓷工艺,被广泛应用于多层陶瓷器件的生产。目前工业中的流延成型工艺多数使用易燃、有毒的有机溶剂,对人体和环境造成了严重的危害,不适应环境友好及清洁生产的发展方向。因此,开发以水为溶剂的环保型、绿色化流延成型工艺己经成为目前的发展趋势。采用水基流延成型工艺制备极限电流式氧气传感器敏感元件,在700℃下测量,获得特性较好的极限电流平台。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第四十九研究所