MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展

作者：王呈祥; 韩晓东; 李得天^*; 成永军; 孙雯君; 李刚

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(01): 24-33.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.01.04

• 真空测量
• 微机电系统
• 电容薄膜真空计
• 小型化

近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。

• 单位
  兰州空间技术物理研究所