第十七讲 薄膜与表面技术基础

作者：张以忱

来源：真空, 2012, (03): 95-96.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2012.03.005

• 应力值
• 基体材料
• 反应堆材料
• 薄膜内应力
• 表面电子密度

<正>(上接2012年第2期第108页)另外,从降低应力的目的出发,在薄膜与基体的界面处,表面电子密度必须保持连续。因此,在材料筛选上,选择合适的薄膜材料可以在一定程度地防止高应力的产生;在沉积工艺上,如果

• 单位
  东北大学