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摘要
为了满足激光通信系统的技术需求,选取Ti3O5、SiO2两种材料,采用前、后表面分别镀制长、短波通组合的方法,在HWB850基底上完成了在0°～60°范围内1 064 nm波段高透射,紫外、可见、近红外波段深截止滤光膜的设计,分析了实际测试曲线与理论曲线不吻合原因,并结合工艺的改进解决了偏差,最终制备的滤光片在0°入射时1 064 nm透过率91.7%,截止带透过率小于0.1%,60°入射时1 064 nm透过率86.9%,截止带透过率小于1%,具有良好的环境适应性,满足系统的技术需求。
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单位中国电子科技集团公司
