摘要

为了降低界面热阻对微通道散热性能的制约,提出了一种组件壳体内置微通道散热单元的设计架构,以满足新一代高功率芯片T/R组件的热控需求。对内置微通道的传热特性进行数值仿真分析,优选出最佳结构参数组合。基于优选设计参数,整合UV-LIGA微细加工技术、精密扩散焊接技术及微组装技术,完成内置微通道散热单元T/R组件的模拟样件研制。开发微通道换热器性能测试系统,对模拟样件散热效果进行试验验证。结果表明,内置微通道散热单元T/R组件的热流密度达到274.2 W/cm2,可保障高功率芯片工作在允许的温度范围内。该设计方式值得在局部热流密度过高的电子器件热设计中推广应用。

  • 单位
    南京电子技术研究所

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