激光位移传感器设计与标定测试

作者：周宇; 李粤; 李维平; 杜勉珂; 邓然; 邵文挺

来源：传感器与微系统, 2020, 39(11): 92-95.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)11-0092-04

• 激光位移传感器
• 线性度
• 光学系统

为了降低激光位移传感器试制成本,并且更加方便地进行线性度测试,研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计,得到合适的收光镜头,再选取光电元件,成功研制了一种工作距离为100 mm,量程为±25 mm,线性度为±0. 28%,分辨率为20μm的激光位移传感器。该传感器具有测量范围宽,线性度好,分辨率高的特点,满足了在工业场景中对精密测量的使用要求。

• 单位
  北京卓立汉光仪器有限公司