本发明公开了一种超高灵敏度的MEMS微压传感器,包括基座,两个谐振梁,两个调谐电极、两个弱耦合梁以及四个相同的压力膜。调谐电极用于调节谐振梁的刚度,实现两个谐振梁的固有频率相等；两个弱耦合梁采用对称的“S”型分布,提升了传感器微压测量灵敏度和品质因子。通过MEMS微压传感器,采用分段幅值比差值的检测方法即可实现待测压力的超高灵敏度检测。本发明的超高灵敏度的MEMS微压传感器,可用于航空航天等领域的微压测量,具有超高的灵敏度,且检测范围广,品质因数高,稳定性好。
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