一种SmCo垂直磁各向异性薄膜的制备方法

作者：邱兆国; 魏卢; 曾德长; 郑志刚; 洪源

来源：2020-07-17, 中国, ZL202010693696.6.

本发明公开了一种SmCo垂直磁各向异性薄膜的制备方法,包括以下步骤：1)通过磁控溅射制备Cr/Cu/SmCo/Cr结构的磁性薄膜材料；2)将步骤1)的磁性薄膜材料放入红外退火炉,以5～20℃/s的升温速率将炉内温度升至350～500℃,再保温5～10min。本发明的制备方法操作简单易控、处理时间短、处理成本低、处理效率高,制备得到的SmCo薄膜的垂直磁各向异性大、磁性能优异。

• 单位
  华南理工大学