连续表面微透镜列阵元件检测

作者：邓启凌; 杜春雷; 王长涛

来源：光子学报, 2004, (11): 1317-1320.

• 微光学元件
• 检测
• 连续表面 Microlens array
• Measurement
• Continuous surface

系统分析了连续表面微透镜列阵的几何参量和光学性能的检测方法和评价标准,针对典型的折射型聚焦列阵元件,给出其结构尺寸及光学性能的测试结果,两者结果一致从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差及光学性能指标来综合评估微光学元件性能的方法

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 微细加工光学技术国家重点实验室