电子厂房洁净室空调设计

作者：李欣煜

来源：制冷与空调, 2021, 21(12): 53-62.

• 电子厂房
• 洁净室
• 净化空调系统
• 新风系统
• 空调水系统

根据电子芯片的工艺特点,结合重庆市某12寸硅片加工厂房,从空调系统方案选择,空调负荷计算,空调风量计算,空调水系统设计等方面介绍了电子厂房洁净室的空调设计,并总结了设计过程中的一些要点,可为类似工程提供参考。