摘要

以SM系列轴快流CO2激光器气体单元为研究对象,分析了设备长期连续工作后气体配比波动的各种因素,指出设备工作时节流阀阀芯、阀座温度变化是主要原因,特别是对于通径最小的CO2气路节流阀。为此,提出了采用同一型号、同一通径的节流阀,利用不同气路节流阀在同一时间周期内的开启时间(即占空比)的不同来实现所需气体配比。其也适用于其他需要进行气体按一定比例进行配比的场合。