基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法

作者：徐临燕; 栗大超; 刘瑞鹏; 邱晗; 傅星; 胡小唐; 张文栋

来源：压电与声光, 2010, (04): 677-681.

• 纳机电系统
• 纳米梁谐振器
• 离面振动
• 原子力显微镜(AFM)
• 轻敲模式 nanoelectromechanical system
• nanobeam resonator
• out-of-plane vibration
• AFM
• tapping mode

针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双端固支纳米梁作为测试结构,采用AFM轻敲模式测试了样品的幅频响应特性。同时采用显微激光多普勒测振系统进行了比对测试,测量结果与AFM轻敲力曲线模式的测量结果相符,也表现出AFM轻敲模式的测量误差具有与测试样品相关的频率特性。

• 单位
  天津航海仪器研究所; 天津大学; 中北大学