微电子行业洁净室空气化学污染控制

作者：吴小泉^*

来源：洁净与空调技术, 2020, (02): 61-67.

• 半导体线宽
• 空气化学污染
• 空气洁净度
• ISO 1级

微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证,该平台是中国首例达到国际标准(ISO1级,ISO14644-1)超净空气环境设施,在该设施中可开展空气洁净度和空气污染控制等课题研究,对实际项目的设计、运行具有重要参考价值。

• 单位
  南京天加环境科技有限公司