新型p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器

作者：王秀华; 李海霞; 李占奎^*; 李春艳; 陈翠红; 鲁辰桂; 李荣华; 祖凯玲; 王柱生; 刘凤琼

来源：兰州大学学报(自然科学版), 2021, 57(05): 683-693.

DOI：10.13885/j.issn.0455-2059.2021.05.014

• 硅微条探测器
• +深层扩散结构" name="keyword">p+深层扩散结构
• 能量分辨
• 条间串扰

设计了一种新型的p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器,介绍了该探测器的结构、工艺及性能测试结果 .探测器为灵敏面积10 mm×10 mm的单面60条探测器, p+注入条宽64μm,栅宽96μm, p+注入条中心下方的p+深层扩散区宽10μm.测试内容包括该探测器的电学特性(反向漏电流、耗尽电压、条间电容、条间电阻)和探测特性(能量分辨、条间串扰).该探测器在45 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均小于1.3 nA.探测器对241Amα粒子的能量分辨率约为2.6%,相邻条之间的串扰率约为4%.

• 单位
  中国科学院近代物理研究所