基于玻璃浆料键合的硅基漏孔封接工艺优化研究

作者：周问天; 任国华; 孟冬辉; 孙立臣; 王旭迪^*

来源：真空科学与技术学报, 2020, 40(06): 514-518.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.06.03

• 漏孔
• 封接
• 玻璃浆料
• 可伐
• 热应力仿真

随着漏孔在超高真空计量应用的广泛需求,目前常用的Torr-Seal胶封接方法由于其高放气率而不再适用,迫切需要一种放气率低、气密性好的封接方法。本文提出了一种新的基于玻璃浆料键合的硅基漏孔封接方法,即利用玻璃浆料键合工艺将硅片封接到可伐管上,并通过法兰连接到真空测试系统中。研究优化了玻璃浆料的热调节工艺,并使用氦质谱检漏仪测量了封接组件的本底漏率。测量结果显示,在一个大气压的上游压力下测得的最小本底漏率为1.0×10-13 Pa·m3/s。采用仿真软件ANSYS对封接的降温阶段进行了热应力分析,根据仿真结果证明了可伐合金的优越性。

• 单位
  合肥工业大学; 北京卫星环境工程研究所