多相绕组电子束偏转扫描装置仿真分析

作者:薛展仁*; 韦寿祺; 李曌
来源:真空科学与技术学报, 2020, 40(05): 465-470.
DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2020.05.13

摘要

为了提高带电粒子束通道内磁感应强度均匀度,分析了磁偏转扫描装置的线圈匝数密度分布对磁场的影响,表明扫描绕组的匝数密度沿横截面圆周按正弦规律分布,那么横截面内磁感应强度呈均匀分布。工程实际中绕组分布不可能严格按照正弦分布,为弱化绕组量化分布效应,从而提出了采用大于两相的多相绕组结构,建立了几何模型和有限元模型,并利用Maxwell软件对不同绕组相数的磁偏转扫描装置进行电磁场仿真,并制作实物进行测量,测量结果与仿真结果基本一致,表明相数越多偏转扫描装置通道内的磁场强度均匀度越高。