多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用

作者：贺明智; 冯玉东; 赵荣华; 孙利娟

来源：电工技术, 2010, (09): 37-38+57.

• 多晶硅
• 改良西门子法
• 高压启动
• 闭环控制

基于改良西门子法多晶硅生产方式,设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系统,并实现远程集中控制,采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法,实现了在不同温度条件下电气控制系统实时自适应调节。

• 单位
  北京交通大学; 北京京仪椿树整流器有限责任公司