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摘要
本发明提供一种基于柔性支撑的谐振式压电堆栈泵,包括通过泵腔隔膜运动形成内部容积变化以泵送流体的隔膜泵以及与隔膜泵外壳相对固定的压电驱动机构；压电驱动机构还包括预紧装置和压电堆栈,压电驱动机构一端经柔性支撑板与固定架弹性连接；压电驱动机构的另一端与泵腔隔膜固定连接。该基于柔性支撑的谐振式压电堆栈泵通过对压电堆栈采用柔性支撑的方式,可以实现压电堆栈在较低频率范围的谐振驱动,极大提高了压电堆栈的驱动位移；且压电驱动机构的工作模态为一阶谐振模态,具有机械品质因子高、驱动性能高、工作可靠性好的优势。
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