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摘要
为了研究提高原子层沉积加热系统温度均匀性的有效解决方案，采用ANSYS仿真软件建立原子层沉积反应室模型。利用控制变量法，以提高衬底的温度均匀性为目标，观察气体入口流量、电阻片与加热盘的距离和加热温度对反应室热场的影响。随着气体流量的增加，底部流动边界层趋于稳定，加热盘的温度场分布更加均匀；随着加热盘与电阻片之间距离的增大，从电阻片到达石墨盘下表面的热量减少，石墨盘表面最高温度和温差都随之减小，温度均匀性得到提高；随着加热温度的升高，加热盘表面温度增高，因此，可以通过分区加热来提高加热盘表面温度均匀性。
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