Ag催化化学腐蚀多晶绒面的制备及其特性研究

作者：王绍亮; 勾宪芳^*; 徐征; 任丙彦; 周肃; 庄浩

来源：太阳能学报, 2021, 42(04): 268-271.

DOI：10.19912/j.0254-0096.tynxb.2019-1267

• 多晶硅
• 黑硅
• 银催化
• 反射率
• 纳米结构重塑

该文采用液相两步法成功制备出具有高质量性能的黑硅绒面。当Ag粒子沉积时间为10 s、AgNO3浓度为0.01 mol/L,H2O2浓度为0.9%,黑硅刻蚀时间为120 s时,硅片绒面反射率最小为5.47%;Ag粒子去除阶段,采用碱洗方式去除残余银颗粒的效果要优于酸洗;黑硅纳米绒面重塑阶段,时间控制在90 s时纳米锥大小一致、均匀度最优。

• 单位
  河北工业大学; 北京交通大学