溶胶-凝胶法制备高折射率TiO_2薄膜

作者：盛永刚; 徐耀; 张磊; 梁丽萍; 吴东; 孙予罕; 蒋晓东; 魏晓峰

来源：强激光与粒子束, 2008, (01): 75-78.

• 溶胶-凝胶
• TiO2薄膜
• 折射率
• 激光损伤阈值 Sol-gel
• TiO2 film
• Refractive index
• Laser induced damage threshold

采用溶胶-凝胶法制备了TiO2纳米晶溶胶,并以旋涂法(spin-coating)镀制了高折射率光学薄膜。借助光散射技术和透射电镜研究了溶胶的微结构。采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、紫外-可见-近红外光谱仪、椭偏仪、漫反射吸收光谱及强激光辐照实验,对膜层的结构、光学性能及抗激光损伤性能进行了系统的表征。结果显示:纳米晶薄膜的折射率达到了1.9,而传统的溶胶-凝胶薄膜折射率只有1.6;同时纳米晶薄膜的抗激光损伤阈值与传统的溶胶-凝胶薄膜相差不大,在1064 nm处分别为16.3 J/cm2(3 ns脉冲)和16.6J/cm2(3 ns脉冲);纳米晶溶胶薄膜可以在保持较高抗激光损伤阈值情况下,大幅...

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 煤转化国家重点实验室