基于氟硅混酸制备稀土抛光粉及其抛光性能研究

作者：范娜; 陈传东; 于健飞; 胡群; 岳帅军; 赵思远; 刘杨

来源：中国稀土学报, 2022, 1-10.

• 氢氟酸
• 氟硅混酸
• 含氟抛光粉
• 抛光性能

以碳酸镧铈为前驱体，氢氟酸、氟硅混酸为氟源氟化、高温焙烧、球磨的方法制备含氟铈基稀土抛光粉。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、粒度分析仪、激光共聚焦显微镜等检测手段对不同氟源铈基稀土抛光粉进行表征。结果表明，氢氟酸和氟硅混酸氟化后的铈基稀土抛光粉物相组成相同，均出现CeO_(2)、LaOF和LaF_(3)衍射峰；氟化后两种抛光粉的形貌均发生明显变化，氢氟酸氟化后的抛光粉颗粒成型较好，一次颗粒平均粒径在113 nm左右，氟硅混酸氟化后，出现球形颗粒，一次颗粒平均粒径在90 nm左右，比氢氟酸氟化的铈基稀土抛光粉粒径小，球形度较好。氢氟酸和氟硅混酸氟化的铈基稀土抛光粉4次抛光的磨削率基本保持不变，抛光后的K9玻璃250 μm×250 μm表面粗糙度分别为84.54 nm和81.85 nm，两种抛光粉抛光后的表面粗糙度相差较小。

• 单位
  包头稀土研究院