ITO/PET衬底上掠射角溅射沉积WO3薄膜及其电致变色性能

作者：王冠杰; 王美涵^*; 文哲; 魏丽颖; 雷浩; 孙立贤; 徐芬

来源：稀有金属材料与工程, 2022, 51(04): 1448-1454.

• WO3薄膜
• ITO/PET衬底
• 直流磁控反应溅射
• 掠射角
• 电致变色性能

采用直流磁控反应溅射法，以不同掠射角度在ITO/PET衬底上沉积WO3薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和能谱仪(EDS)对WO3薄膜表面和断面的形貌及化学组成进行表征；利用电化学工作站和紫外分光光度计对WO3薄膜的电化学性能和光学性能进行分析。结果表明，当掠射角α>60°时，薄膜表面形成类似于山峰状形貌，断面为纳米斜柱状结构，该结构有利于离子和电子的迁移。当掠射角α=80°时，沉积的WO3薄膜具有最快离子扩散速率和最大光调制幅度，着色效率达到27.05 cm2/C。同时，薄膜还表现出快速响应和良好循环稳定性。

• 单位
  沈阳大学; 桂林电子科技大学