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摘要
针对高分辨率微米光栅加速度计中存在的输出非线性和动态范围小的问题,提出一种基于静电驱动的静电力反馈方法。该方法一方面将质量块位移锁定在最佳工作点,提高速度计的线性度:同时利用静电力反馈实现微米光栅加速度计的力反馈控制,提高它的动态围。给出了微米光栅加速度计的力反馈检测原理,建立了静电力反馈控制模型和基于力反馈微米光栅加速度计系统的数学模型,在此基础上优化了PI控制单元,搭建了微米光栅加速度力反馈系统,实现了力反馈控制。实验结果显示:当质量块位移锁定在最佳工作点处时,微光栅加速度计的量程比未加力反馈时增大了33.4倍,非线性度抑制了6.4倍。
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