屏蔽泵在多晶硅装置中的应用

作者：郭松

来源：石油和化工设备, 2018, 21(03): 32-37.

• 屏蔽泵
• 原理
• 多晶硅
• 应用

介绍了屏蔽泵的结构原理、设计及制造标准及其在多晶硅装置中的应用情况。