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摘要
本发明揭示了一种快速测定时序式ALD制程的ALD#window的方法,通过时序式ALD工艺沉积单独一个薄膜样品即可确定所采用工艺的ALD#window；在所述ALD#window测定过程中,薄膜的ALD沉积温度T可被控制地改变；在沉积薄膜样品所使用的ALD设备中,配置有用于实时监控ALD沉积得到的薄膜的质量m的QCM,在ALD#window测定过程中,薄膜的ALD沉积温度T从低温到高温逐渐升高,通过QCM测量所得到的薄膜在每一个沉积温度下的指定沉积循环中的质量改变量Δm,最终得到Δm与T的函数关系,分析所述Δm与T的函数关系来确定所采用工艺的ALD#window。
- 单位
