采用硝酸-盐酸-氢氟酸体系进行微波消解消化样品,电感耦合等离子发射光谱法选用钇做内标测定总硅。结果表明:食用盐中硅的加标回收率为90.4%~105.9%。此方法可有效避免生成四氟化硅气体逸出,导致硅的损失,同时加入钇内标可有效去除钠的基体干扰,此方法准确性好、精密度高。