MEMS重力仪温度、倾斜和气压扰动影响机制及其抑制方法研究

作者：高乐; **; 殷笑寒; 伍文杰

来源：华中科技大学学报(自然科学版)科技大学, 2023, 51(03): 114-140.

DOI：10.13245/j.hust.230308

• 微机电系统(MEMS)重力仪
• 环境效应抑制
• 流动重力测量
• 温度效应
• 倾斜效应
• 气压效应

从理论上分析了温度、倾斜、气压效应对微机电系统(MEMS)重力仪的影响机制，以5μGal的零偏稳定性为目标量化环境扰动控制需求，并分别提出三层主动温度控制、机械调平和数据补偿及真空腔封装方案抑制温度、倾斜及气压效应影响.实验结果表明：24 h内重力敏感单元温度波动小于1.6 mK，测温电路漂移0.08 mK，两轴倾斜角度均小于±0.07 mrad，气压波动变化小于0.3 mPa.MEMS重力仪敏感探头集成环境抑制系统后静态本底噪声在1 Hz处为1μGal·Hz-1/2，是国际精度最高的MEMS相对重力仪之一.

• 单位
  物理学院; 华中科技大学