均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用

作者：王向贤; 汪波; 傅强; 陈漪恺; 胡继刚; 张斗国; 明海

来源：中国激光, 2012, (04): 220-223.

• 光学制造
• 紫外发光二极管
• 阵列
• 光刻 optical fabrication
• ultraviolet LED
• arrays
• lithography

优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法具有结构简单、节能、环保等优势。

• 单位
  巢湖学院; 中国科学技术大学