摘要
提出了一种基于多壁碳纳米管(MWCNTs)和PDMS(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)复合材料的8×6柔性压阻触觉传感器阵列,该传感器阵列的工艺流程比较简单,适合大面积制作和量产.设计的传感器阵列具有很高的灵敏度和可拉伸性等特性,得益于复合材料敏感单元的特殊不规则表面结构,在超低压强范围内(<300 Pa)传感器灵敏度可达到16. 9~5. 41 kPa-1,并且在<1. 3 kPa的压强范围内灵敏度超过0. 5 kPa-1.此外,还建立了一个能够实时扫描分析传感器阵列受力情况并实时显示的阵列扫描系统,该系统对接触压力的分析有助于确认接触物体的形状.
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单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院大学; 中国科学院电子学研究所