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摘要
本发明公开了一种一维闭环微纳米振动台,是以铍铜簧片作为弹性部件,在铍铜簧片的上表面设置工作台面构成弹性结构,使工作台面仅能在竖直方向形成振动位移；在工作台面的底面设置转接板,转接板与压电陶瓷致动器的位移输出头呈T形连接,由压电陶瓷致动器通过转接板驱动工作台面竖向运动；利用迈克尔逊干涉仪实时检测转接板的运动状态作为检测信号,信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器输出控制信号,实现实验台的闭环控制。本发明能够获得高精度的微纳振动,同时具有振幅和频率范围宽、输出振动重复性高、成本低、装调方便以及可以闭环控制等优势。
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