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摘要
本发明涉及基于Tamm等离激元的氮化物绿光器件,该绿光器件利用Tamm等离激元来提高绿光器件的发光效率,在器件结构上通过在有源区下方采用分布布拉格反射镜(DBR),并在有源区的上面设置p型接触层,并通过控制p型接触层的厚度以及p型接触层与DBR间的距离,使p型接触层与DBR之间形成谐振腔并与产生的Tamm等离激元耦合,设置p型接触层位于Tamm等离激元谐振模式的波节处,有源层位于Tamm等离激元谐振模式的波腹处,从而提高了内量子效率,大幅减小p型接触层对光的吸收,以及提高绿光器件中有源层发射光子与谐振腔光场的耦合效率从而提高器件的光萃取效率。
- 单位
