锥束CT在电子元器件方面的应用

作者:吴彦举; 郝兵; 吕益良; 郑诗杨
来源:数字技术与应用, 2020, 38(05): 37-38.
DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2020.05.23

摘要

锥束CT相比较DR和断层扫描,具有检测精度高,检测效率高的优势。不但可以对工业零部件进行无损检测,发现零件内部缺陷信息,还可以对电子元器件进行失效分析。使用高分辨率微焦点锥束CT扫描技术可以针对电路板、以及芯片等重要电子元器件进行二维、三维成像分析,可以直观了解电子器件内部结构及线路分布情况,对于重要电路板还原可以进行逆向分析,分析出电路板线路图,还原制版图,帮助企业吸收已有的科技成果。