摘要

本发明公开了一种向高压气体轴承供气的暂冲气源系统及其设计方法,其系统包括高压气体发生段、气流稳定段、调压段和气流输出段,高压气体发生段、气流稳定段、调压段和气流输出段依次连接。本发明解决了现有的暂冲气源系统因供气流量过大,无法适用于高压气体轴承实验台的问题;具有经济可靠,输出气流压力稳定性好,设定压力可调,操作方便等特点;两级串联自力式压力调节阀的调压方法,克服了目前常用的单级环状缝隙调压阀,因尺寸过大而不能应用于高压气体轴承暂冲气源系统中的困难;也克服了仅采用一级自力式压力调节阀调压时,由于储气罐中压力不断下降造成阀口位置快速变化导致稳压精度不高的缺点。