针对单一注极方式注极后三明治型复合驻极体薄膜表面电位衰减快和电荷密度低的问题,提出了一种"电晕注极+热注极+电晕注极"的复合注极方案。通过表面电位分布和稳定性监测,比较了单一注极方式与复合注极方式对复合膜驻极体性能的影响。结果表明,利用"电晕注极+热注极+电晕注极"复合注极方式注极的样品,在存储300h后表面电位稳定在-1 400V,结合对复合薄膜表面均匀性的观测结果,得出该极化方式的稳定电位及均匀性都优于单一注极方式的结论。