具有大行程的步进型压电致动器研究综述

作者：张韬; 马瑞; 王阳; 陈玉国; **; 王宇航

来源：重庆理工大学学报：自然科学, 2023, 37(09): 280-294.

• 压电驱动技术
• 压电致动器
• 步进式压电驱动
• 纳米级定位

为了克服单个压电元件工作行程有限的不足，学者们提出了各种步进运动原理，并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型，即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器，分别阐述了这3种压电致动器的运动原理和发展现状，指出了存在的问题与不足。

• 单位
  机电工程学院; 东北林业大学