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摘要
本文以硅片制造生产车间和工艺流程为对象,研究制造设备仿真建模和工艺实时数据驱动仿真技术。首先采用SolidWorks完成实体建模,借助3D Max实现模型渲染,并以Unity3D场景集成的方式对生产车间和设备进行数字化三维建模,其次研究了基于实时数据驱动、有限状态机仿真的设备实时仿真方法,并基于消息队列中间件技术实现数据采集系统内物理设备实时数据与虚拟仿真系统内虚拟设备的绑定,最终利用网络编程技术实现虚拟仿真系统的搭建。测试结果证明,仿真系统具有集成建模仿真资源便捷、可复用性强、灵活性和可配置性高等特点。
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