新型超高纯CuMn合金溅射靶材的微观组织表征

作者：王少平; 姚力军; 钟伟华; 杨辉

来源：世界有色金属, 2021, (10): 115-116.

• 铜合金
• 溅射靶材
• 显微组织
• 台阶覆盖率

本文研究了交叉轧制变形态高纯Cu-0.8at%Mn合金的显微组织和织构。结果显示,该6N(纯度99.9999%)CuMn合金(100)和(110)晶面择优取向,小角度晶界占比达76%。

• 单位
  宁波江丰电子材料股份有限公司; 浙江大学