QFN芯片表面划痕检测定位方法设计

作者：张若楠; 沐超; 张固; 刘小勤

来源：大气与环境光学学报, 2019, 14(04): 313-320.

• 方形扁平无引脚封装芯片
• 划痕检测
• 多阈值分割
• 粒子群优化算法

在工业应用中,需要对方形扁平无引脚封装(Quad flat no-lead package,QFN)芯片表面划痕实时准确检测,提出了一种快速的芯片表面划痕检测定位方法.通过图像分割算法获取缺陷图像,结合轮廓提取算法可以较好地实现芯片表面划痕定位.同时,为了保证对芯片表面划痕实时检测,采用基于粒子群的Otsu多阈值算法进行图像分割,不仅使得图像中缺陷区域更加明显,而且缩短了芯片表面划痕检测时间.与直接采用Otsu算法相比,芯片表面划痕检测时间由秒级缩短至毫秒级,提高了芯片质量检测效率.该划痕快速定位检测方法对芯片检测设备软件系统开发与应用具有重要的参考价值.

• 单位
  中国科学院; 中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学技术大学