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摘要
本发明公开了一种制备大面积单层二硒化钨单晶的方法,主要解决了传统制备方法工艺较复杂,可控性差的问题,其实施步骤为：1.选用衬底并进行RCA标准清洗,选取两片衬底依次用去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗5分钟,吹干；2.将清洗后的衬底置于管式炉内,准备两只石英舟分别作为钨舟和硒舟,将NaCl溶液滴在第一片衬底前端后在热板上加热至去离子水完全气化；在第一片衬底盛放WO3,盖上第二片衬底后将钨舟置于高温区,硒舟中盛放Se后置于低温区；3.吹扫腔体,对管式炉高低温区分别进行控温,使WO3和Se反应产生WSe2,并对其进行密封。本发明成本较低,可控性高,适用于可重复性的大面积的单层WSe2材料的制备。
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