为探究激光辐照Al2O3陶瓷不同深度位置处的温度及应力的变化特性，采用有限元方法模拟纳秒激光与Al2O3陶瓷相互作用过程，基于光热作用机理分析激光功率密度对Al2O3陶瓷温度场和应力场的影响，获得纳秒激光辐照Al2O3陶瓷时微裂纹的产生特性。结果表明，在30 ns时，Al2O3陶瓷材料表面出现温度和压应力峰值，且沿Al2O3陶瓷材料深度方向得到释放，产生拉应力；随着激光功率密度的逐渐增加拉应力增大，在Al2O3陶瓷材料表面以下2μm处首先产生微裂纹，且微裂纹沿材料深度方向扩展。
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