激励信号对无驱动MEMS陀螺输出灵敏度的影响

作者：徐聪; 张伟^*; 郭子龙

来源：传感器世界, 2023, 29(05): 31-35.

DOI：10.16204/j.sw.issn.1006-883X.2023.05.006

• 无驱动
• 激励信号
• 灵敏度
• MEMS陀螺

MEMS陀螺在导航、控制、测量等领域的应用越来越广泛，而激励信号的选取直接影响着陀螺的检测灵敏度。文章首先通过理论分析了陀螺的结构特性，确定了影响信号检测灵敏度因素；然后对陀螺信号处理电路中的激励信号部分进行实验研究；最终选取了适合该陀螺的激励信号。为使无驱动MEMS陀螺具有较高的灵敏度，实验研究了不同幅值、频率和波形种类的激励信号对其产生的影响，为选取合适的激励信号提供了依据。实验结果表明：选择幅值为5 V、频率为139 kHz、占空比为80%左右的方波激励信号为最佳方案，能够有效地提高无驱动MEMS陀螺的输出灵敏度。

• 单位
  西安工业大学; 北京信息科技大学