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摘要
目的研究基底偏压对AlCrVN涂层微结构及力学性能的影响。方法采用电弧离子镀技术，使用合金靶AlCrV，纯N2作为引弧介质和氮源，在不同的基底偏压下制备AlCrVN涂层，对AlCrVN涂层的物相结构、微观形貌、硬度、摩擦系数及磨损率进行测试分析，作为对比制备了AlCrN涂层。结果AlCrVN涂层为柱状晶结构，由面心立方CrN为基础的（CrV）N置换固溶体相和Cr2N六方相两种晶相组成，随着基底偏压的增大，涂层衍射峰强度及位置变化不明显；涂层表面的大颗粒数量减少，凹坑增多；涂层硬度由50 V时的22GPa增大到150V时的24.2GPa，200V时硬度值减小到22 GPa；摩擦系数由0.42增大到0.71；磨损率由6.4×10-7mm3/（N·m）逐渐增大到13.2×10-7mm3/（N·m）。结论 基底偏压对AlCrVN涂层性能影响较大，低偏压时（50 V），涂层的摩擦系数、磨损率最低，耐磨性能最好。含V元素的AlCrVN涂层的力学和摩擦学性能都优于AlCrN涂层。
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