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摘要
随着第三代同步辐射和自由电子激光光源以及光束线技术的发展,越来越多的掠入射式反射镜投入到使用中。这种掠入射式反射镜是一种大尺寸的高精度光学表面。这种反射镜的面型误差与实验中用到的光束线焦点尺寸相互关联。X射线波面检测装置主要是通过X射线相衬成像技术实现对反射镜的面型检测。主要介绍了X射线波面检测装置的实验原理、控制系统搭建、软件实现、图像处理算法、相位步进方法、相移信息提取仿真实验。通过进行相移信息提取仿真实验确保实验的准确性。对比分析不同的图像处理算法进而达到精确实验结果。设计目标是X射线波面检测装置面型检测分辨率达到100nrad。
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