研磨液悬浮性对硅片加工的影响研究

作者：范辉

来源：城市建设理论研究(电子版), 2018, (05): 203.

DOI：10.19569/j.cnki.cn119313/tu.201805171

• 硅片
• 研磨
• 悬浮液

本文介绍了硅片加工过程中研磨液对研磨加工工艺的影响,重点研究研磨液悬浮性对于研磨加工的作用。通过在研磨液中加入不同质量百分比的悬浮液进行硅片研磨的对比试验,确定了在研磨液加入适合比例的悬浮液能有效的降低裂片率,对研磨生产工艺具有现实的指导意义。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所