探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上)

作者：沈经

来源：仪器仪表标准化与计量, 2018, (04): 1-8.

• 光刻
• 电子束摇摆器
• 极紫外
• 离子束注入参杂
• 晶圆
• 大规模集成电路
• 原始设计制造商
• 原始设备制造商
• 原始品牌制造商
• 台积电-OEM模式

3个模糊观念:1)重视"智能制造"忽视制造"智能",2)把"铸造厂的foundry"与"VLSI的OEM"都看成"代工",3)把高技术知识产权的核心价值看成"附加值",令人热衷于劳动力密集型代工。30年后,该升级到制造"智能"即VLSI芯片制造。介绍制造全球60%VLSI名牌芯片的张忠谋博士56岁创"tsmc-OEM"模式代工及nm工艺流程的仪器群。

• 单位
  中国科学院高能物理研究所; 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所